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產(chǎn)品中心

一家專(zhuān)業(yè)研制、生產(chǎn)電渦流位移傳感器、振動(dòng)速度傳感器及相關(guān)測(cè)試儀表的高科技企業(yè)

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ZH9700系列電渦流位移傳感器

?ZH9700測(cè)量系統(tǒng)采用電渦流技術(shù)在不接觸目標(biāo)的情況下測(cè)量位移。非常適合需要高分辨率和高性?xún)r(jià)比的應(yīng)用。ZH9700系統(tǒng)采用本公司最新的基于相位域檢波以及脈寬調(diào)制平滑濾波專(zhuān)利技術(shù)、配合表面貼裝元件以及合理的印刷電路板設(shè)計(jì),只需要簡(jiǎn)單的低功耗單電源供電 ,消除了傳統(tǒng)線(xiàn)性放大器的噪聲,從而將位置/運(yùn)動(dòng)分辨到納米級(jí)別、甚至埃米級(jí)亞原子尺寸。
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1
產(chǎn)品描述
參數(shù)

          ZH9700測(cè)量系統(tǒng)采用電渦流技術(shù)在不接觸目標(biāo)的情況下測(cè)量位移。非常適合需要高分辨率和高性?xún)r(jià)比的應(yīng)用。ZH9700系統(tǒng)采用本公司最新的基于相位域檢波以及脈寬調(diào)制平滑濾波專(zhuān)利技術(shù)、配合表面貼裝元件以及合理的印刷電路板設(shè)計(jì),只需要簡(jiǎn)單的低功耗單電源供電 ,消除了傳統(tǒng)線(xiàn)性放大器的噪聲,從而將位置/運(yùn)動(dòng)分辨到納米級(jí)別、甚至埃米級(jí)亞原子尺寸。

  通過(guò)在線(xiàn)性度和分辨率上進(jìn)行權(quán)衡,ZH9700的量程可以超過(guò)傳感器探頭直徑的50%。一般來(lái)說(shuō),線(xiàn)性度最好的系統(tǒng)熱穩(wěn)定性不會(huì)最佳;要獲得最佳熱穩(wěn)定性將犧牲傳感器的線(xiàn)性度。如果對(duì)傳感器的非線(xiàn)性參數(shù)特別關(guān)注,通常情況下,對(duì)于非磁性測(cè)量目標(biāo),滿(mǎn)足0.05%滿(mǎn)刻度輸出(FS/°C)的熱穩(wěn)定性時(shí),在測(cè)量范圍約等于傳感器探頭直徑10%的位置時(shí)其非線(xiàn)性度將降低至1%。在這個(gè)范圍內(nèi),如果需要達(dá)到最佳線(xiàn)性,如果溫度穩(wěn)定性要求降低時(shí) (標(biāo)準(zhǔn)溫度系數(shù)=0.05% FS/°C)、系統(tǒng)的非線(xiàn)性度可調(diào)節(jié)到小于1% 。同樣,如果溫度是更關(guān)鍵的參數(shù),在這個(gè)溫度范圍內(nèi)系數(shù)可調(diào)節(jié)低至0.01% FS/°C,而此時(shí)傳感器的非線(xiàn)性通常增加到±3%。 可提供五階多項(xiàng)式曲線(xiàn)擬合線(xiàn)性系數(shù)供客戶(hù)處理器使用,以達(dá)到大約0.01% FS的線(xiàn)性性能。

  通常,在設(shè)計(jì)周期的早期考慮時(shí),這些權(quán)衡很容易通過(guò)測(cè)量量程、傳感器尺寸和目標(biāo)材料的正確選擇進(jìn)行管理。通過(guò)計(jì)算機(jī)建模,我們可以為您提供應(yīng)用程序特有的規(guī)范。同時(shí),我們提供傳感器和電子設(shè)備的初步機(jī)械外形圖紙,安裝規(guī)定、操作和存儲(chǔ)溫度以及其他參數(shù)。

  基于特殊的傳感器檢測(cè)原理,ZH9700系列電渦流位移傳感器是所有不同原理的電渦流位移傳感器中唯一的動(dòng)態(tài)分辨率大于靜態(tài)分辨率的傳感器,這個(gè)特點(diǎn)對(duì)于微振檢測(cè)具有巨大的優(yōu)勢(shì)!

主要技術(shù)指標(biāo):

埃米級(jí)超高分辨率(1納米=10埃米,1nm=10Åm)

高信噪比:1PPM

高精度:采用計(jì)算機(jī)進(jìn)行線(xiàn)性糾正,精度可達(dá)0.1% FS

多種通道選擇:?jiǎn)瓮ǖ?、雙通道、三通道、四通道多種配置

探頭選擇:多種規(guī)格探頭,適合OEM定制

探頭電纜規(guī)格:2米(特殊要求除外),RG178柔性同軸電纜

量程:0.5mm~4mm

供電電源:+12~+30V DC   < 15mA/每通道

頻率響應(yīng):DC~10KHz(-3dB)

信號(hào)輸出模式: 0~5V   -5V~5V(可選)

非線(xiàn)性:≤±10%,<0.1%(當(dāng)采用五階多項(xiàng)式擬合時(shí))

目標(biāo)靶材質(zhì):純鋁(特殊材質(zhì)除外)

靜態(tài)分辨率:最小5nm

動(dòng)態(tài)分辨率:最小0.5nm

工作溫度范圍:建議恒溫環(huán)境使用    

主要應(yīng)用范圍:

精密加工和磨削

主軸徑向/軸向跳動(dòng)

主軸膨脹

鏡面對(duì)準(zhǔn)

光學(xué)級(jí)定位

計(jì)量測(cè)量等

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